Djoni Izak Rudyardjo, - (1995) Pemanfaatan Magnet Pembelok 600 Pada Ion Implant Or 90 Ke V. Laporan Penelitian. LEMBAGA PENELITIAN UNAIR, SURABAYA. (Unpublished)

Text (LAPORAN PENELITIAN) KKC KK 530.072 REM.pdf Download (533kB)

Abstract

Dalam suatu bahan atau kristal dengan cara mempercepat ion dopan sebelum dicangkokkan. Untuk memperoleh hasil implantasi yang cukup tinggi maka Ion Implantor suatu sistim magnet pembelok. dengan kemurnian dilengkapi dengan Penelitian ini dilakukan untuk mengetahui apakah magnet pembelok dapat digunakan sebagai alat pemisah ion dopan dari ion-ion pengotornya dengan melihat hasil pengukuran medan magnet pada saat arus berkas ion dihasilkan optimum. Adapun tujuan penelitian ini untuk membuat prototype ion implant~r dengan menggunakan magnet pembelok yang mampu memberikan hasil implantasi dengan kemurnian yang cukup tinggi. Penelitian ini dilakukan dengan mengalirkan udara atau suatu gas ke dalam suber ion maka udara atau gas tersebut akan terionkan. Berkas arus ion tersebut kemudian dilewatkan terlebih dahulu pada lensa kuadrupol, magnet pembelok dan penyapu berkas sebelum mencapai sasaran. Dengan mengatur besarnya kuat medan magnet dari sistim magnet pembelok tersebut, akan diperoleh besar arus berkas ion yang bervariasi. Dengan demikian berkas ion akan dipisah-pisahkan sesuai jenis elm yang terkandung didalam berkas ion. Dari hasil penelitian didapatkan kesimpulan bahwa: (1) Untuk keperluan implantasi ion dimana ion-ion yang dicangkokkan harus mempunyai kemurnian yang tinggi, dibutuhkan suatu magnet pembelok yang dapat memisahkan ion-ion tersebut dari pegotor~ya, dan (2) Untuk percobaan dengan udara, pemisahan ion H terjadi pada medan magnet (1,9 ± 0,025) k~. Sedangkan untuk percobaan dengan gas H , pemisahan ion H terjadi pacta medan magnet (1,9 ± O,025) kG.

Item Type:	Monograph (Laporan Penelitian)
Additional Information:	KKC KK 530.072 REM
Uncontrolled Keywords:	Fisika Eksperimental
Subjects:	Q Science > QC Physics > QC1-999 Physics Q Science > QC Physics > QC871-874.8 Technique, Instructions for Observers
Divisions:	Unair Research > Exacta
Creators:	Creators NIM Djoni Izak Rudyardjo, - NIDN0002016801
Contributors:	Contribution Name NIDN / NIDK Contributor Siswanto, - NIDN 0003056406 Contributor Hamdani, - NIDN- Contributor Pujiyanto, - NIDN 0025036104 Contributor Moh Yasin, - NIDN 0003126704
Depositing User:	Dwi Prihastuti
Date Deposited:	08 Aug 2022 02:06
Last Modified:	08 Aug 2022 07:09
URI:	http://repository.unair.ac.id/id/eprint/117387
Sosial Share:

Actions (login required)

View Item